针对洁净室污染源的控制方法

一、控制工作人员产尘的污染

    洁净室工作人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。控制人员散发的污染，首先是控制进入洁净室的人员数量。与生产、科研无直接关系，未经洁净室管理人员批准，一律不得进入洁净室。进入室内的人员要遵循洁净室工作守则，整齐穿着洁净工作服，戴手套、口罩、头套，穿净化鞋，经洁净通道进入。另外对进入洁净室人员要严格管理，例如不允许使用化妆品、定期洗澡、不允许戴手表及首饰，进入洁净室前几小时内不宜吸烟，禁止携带私人物品进入洁净室等。

二、原材料及物品的清洁

    洁净室的产品、原材料、容器和包装都要使用不产生污染的材料。进入洁净室的各种零部件应是清洁的，其包装要符合要求。在洁净室外拆包装时要保证这些零部件不会被污染。不符合洁净室使用要求的零部件要经过清洁后方可进入洁净室。

三、与洁净室相邻区域的压差

    阻止从相邻区域向洁净室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为5Pa-10Pa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外。这样就可减少由室外向服务区域，服务区域向低级别洁净室，低级别洁净室向高级别洁净室传播空气中的悬浮污染物。

四、控制工艺设备产尘

    洁净室内的工艺设备应选料精良，光洁耐磨，那些转动、滑动部位格外重要，要尽可能地减少磨损及产尘。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭，也是减少积尘二次飞扬的有效措施。

五、洁净室送风系统的过滤

    洁净室空调送风系统的末端装置——高效空气过滤器或超高效空气过滤器，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理的新风和回风中的颗粒污染物。经高效、超高效空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。但要注意维护，以防出现裂隙，气密性失效等故障，那么未经高效空气过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。因此洁净室的末级过滤器检漏、堵漏或更换、防损工作十分重要。